光学原件薄膜损伤阈值测试及预处理设备

▍国家标准GB/T16601-1996 《光学表面激光损伤阈值测试，第1部分：1对1测试方法》

▍国际标准ISO 11254-1《Laser and laser-related equipment- Determination of laser-induced damage threshold of optical surface - Part 1：1-on-1 test》

激光损伤阈值测试是破坏性测试，即激光能量（功率）由小到大逐步增加，直至导致膜层损伤，因此，通常的方法是在光学表面镀膜时，在同一罩内放置平面试样片，同时镀膜，再对该试样进行测试，其测试结果代表同罩光学零件的膜层损伤阈值结果。

在对平面试样片测试时，给定激光“初始能量” 、“最大能量”，系统将最大能量与初始能量之间分成9个“能量增幅”，同一个能量同一个重复频率（1对1，S对1）辐射被测光学膜层不同的10位置，探测损伤个数，得到该激光能量下的损伤几率，增加一个“能量增幅”，再辐射被测光学膜层不同的10个位置，探测损伤个数，得到增加激光能量后的损伤几率，以此类推，以10个不同的激光能量，测到各能量下的损伤几率，每个激光能量对应一个损伤几率，建立以损伤几率为纵轴，激光能量为横轴的坐标系，如图，通过数学回归法，将10个坐标点回归为一条直线，该直线与能量轴的交点定义为损伤几率为0时的能量值。

▍测试方法

1-on-1：每个测试点辐射一次

S-on-1：每个测试点以同一个 能量辐射S次

R-on-1：每个测试点以由小变大 的能量辐射