振镜摆镜光电扫描器测试设备

▍用途：

主要用于调试、测试某扫描型红外组件扫描器，测试扫描器的高速度均匀性、光学稳定性等技术参数。

▍测试精度：

反射镜镜面与旋转轴的平行度测量精度＜60″；

扫描器扫描频率测量误差＜0.1%；

扫描器线性度测量误差小于0.1%；

扫描器重复测量误差小于2″；

扫描器线性段有效摆角测量精度10′；

扫描器线性段时间利用率测量误差＜0.2%。